Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.
Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.
Профилометр MicroXAM-100 разработан для исследователей, которые заинтересованы в получении быстрых и повторяемых результатов с помощью инструмента, не обремененного излишними уровнями сложности.
MicroXAM -100 объединяет фазосмещающую технологию интерферометра и оптический микроскоп, что позволяет проводить бесконтактные 3D измерения поверхностной шероховатости с субнанометровым разрешением. Сочетая в себе множество функций, прибор предоставлет пользователю обширные возможности для исследования поверхности. Одной из них является возможность получать трехмерные изображения поверхности высокой четкости для широкого диапазона высот рельефа - как для относительно гладких поверхностей, так и для шероховатых.
Диапазон высоты рельефа, который поддается сканированию с применением MicroXAM-100, составляет 250 мкм. Этот предел может быть расширен до 10 мм с применением режима "сшивания" по Z-оси. В этом режиме допускается соединение вместе в матрицу 4х4 изображений для расширения поля сканирования. "Сшивание" происходит с помощью автоматического алгоритма (либо в ручном режиме, где пользователю доступны настройки объединения).
Полный пакет 3D аналитического программного обеспечения для работы MicroXAM-100 с Windows®, Intel процессором и TFT плоским монитором. Аналитический пакет обеспечивает расчет поверхностной шероховатости, волнистости, высоту ступеньки и другие параметры поверхности.
Анализ полученнных данных возможно так же проводить и удаленно, тем самым позволяя проводить непрерывные измерения - повышать производительность измерений.
Измерительные характеристики |
|
Воспроизводимость измерения вертикальной ступеньки |
1 нм (1σ) |
Погрешность измерений |
<0,1% |
Вертикальный диапазон сканирования |
250 мкм (10 мм опционально) |
Скорость вертикального сканирования |
До 7,2 мкм/с |
Площадь обзора |
101х101 мкм – 1,0х1,0 мм |
Характеристики оборудования |
|
Разрешение видеокамеры |
480х480 |
Диапазон перемещения предметного столика |
100х100 мм |
Наклон предметного столика |
±6° |
Виброизоляция |
пассивная |
Увеличение объективов |
50х, 20х, 10х, 5х |
Физические размеры |
|
Длина |
406 мм |
Ширина |
304 мм |
Высота |
431 мм |
Вес прибора |
22,7 кг |
Вес при транспортировке |
68,0 кг |