Установка сращивания чипов позволяет в ручном режиме совместить чипы с последующим приведением их в контакт посредством склеивания или анодного сращивания. Совмещение чипов включает в себя возможность манипулирования тремя линейными осями и тремя осями вращения.
Точное выравнивание и сращивание двух отдельных чипов, друг с другом, очень часто необходимо для создания трехмерных структур и отдельных устройств при производстве полупроводниковых приборов.
Система сращивания позволяет вручную совместить и соединить два чипа друг с другом.
В дальнейшем система приведет их в контакт посредством склеивания или анодного сращивания. Совмещение чипов включает в себя возможность манипулирования тремя линейными осями и тремя осями вращения, что позволяет очень точно совмещать пластины.
Нижний чип закрепляют на основании, нижнем держателе, верхний чип закрепляется с помощью игольчатого держателя. Оба держателя фиксируют чипы с помощью вакуума, каждый держатель может быть настроен и управляем отдельно друг от друга.
Для процессов анодного сращивания, нижний держатель включает в себя нагреваемую плиту и подключается к источнику эл. тока. Для процесса анодного сращивание необходимо нагреть сращиваемые чипы и пропустить через них эл. ток. Источник питания для анодного сращивания гибко настраиваем, управляется вручную, он позволяет контролировать и отображать ток сращивания и напряжение. Также этот источник контролирует температуру нагревательной плиты и может ее регулировать.
Система разработана для исследовательских институтов и может быть адаптирована для различных задач.
Панель управления источника питания: С правой стороны контроллер температуры нагревательной плиты, с левой стороны регуляторы высокого напряжения. Дисплеи отображают силу тока склейки и напряжение.
Панель управления вакуумных держателей. Вакуум для нагревательного держателя и для игольчатого держателя переключается раздельно. Дополнительно уровень вакуума может быть отрегулирован.