Описание
Процесс формирования углублений с применением матрицы многолучевого лазера обеспечивает удаление верхних слоев различных материалов. Многолучевая матрица позволяет формировать канавки с профилем U-образной формы и качеством, соответствующим отраслевым стандартам (малое количество заусенцев, отсутствие сколов, гладкий профиль канавки). Уникальная концепция установки гарантирует высокую точность и воспроизводимость процесса. Совместно с уникальным и запатентованным контролем линии пропила «на лету» пользователь имеет возможность непрерывного контроля всего процесса:
Ключевые особенности:
- Большое разнообразие ширины канавок. Диапазон от 10 мкм до 100 мкм или более благодаря широкому выбору конфигураций многолучевой матрицы.
- Чрезвычайно высокая воспроизводимость, точность позиционирования и пропила (<± 1 мкм).
- Высокая производительность (как правило, на 50% выше, чем у аналогичных установок других производителей) благодаря концепции системы, ориентированной на лазерную обработку материала:
- сверхнизкое время индексирования;
- проверка линии скрайбирования «на лету»;
- две кассетные станции;
- сдвоенные станции нанесения покрытия и очистки.
Основные ключевые моменты:
- Уникальная многолучевая технология.
- Активное управление фокусом для компенсации колебаний толщины пластины.
- Система перемещения в плоскости и активные крепления для компенсации вибрации обеспечивают чрезвычайно высокую скорость и точность.
- Дистанционное управление и диагностика для оперативной поддержки процесса и более быстрого сервисного обслуживания.
- 2 отдельные кассетные станции для исключения времени простоя машины.
- Встроенные станции нанесения покрытия/очистки для повышения производительности и гибкости скрайбирования;
- Автоматическая настройка разделения луча для использования при решении различных задач;
- Станция предварительного выравнивания и обработки контура для достижения максимальной производительности;
- Обработка пластин с кристаллами интегральных схем различных типов и сломанных пластин для повышения выхода годных кристаллов на полупроводниковой пластине;
- Проверка линии скрайбирования «на лету» без снижения производительности;
- Совместимость с Secs Gem;
- Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.
Области применения
- Скрайбирование материала с низкой диэлектрической проницаемостью (Low-K);
- Логические интегральные схемы;
- Драйверы ЖК-дисплеев;
- Микропроцессоры;
- Память.
Размеры
- Ширина х Глубина х Высота: 1500 x 2000 x 2200 мм